流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
　?。?~1、2、3、5、10、20、30 ）SLM
　　準(zhǔn)確度： ±1%F.S.
　　線性： ±0.5%F.S.
　　重復(fù)精度： ±0.2%F.S.
　　響應(yīng)時(shí)間： ≤1Sec
　　工作壓差范圍： (0.05~0.3)MPa
　　較大耐壓： 10Mpa
　　工作環(huán)境溫度： 5~65℃
　　電氣連接： 8 針（小型圓插頭）
　　輸入/輸出信號(hào) Digital：RS232/RS485 ； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
　　電源： 6~16VDC ；1A
　　標(biāo)準(zhǔn)接頭： Swagelokφ6；Swagelok 1/4″；VCR1/4″